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海燕书房 -纳米硅/单晶硅异质结MO***ETs压/磁多功能传感器研究

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纳米硅/单晶硅异质结MO***ETs压/磁多功能传感器研究书籍详细信息

  • I***N：9787811291261
  • 作者：暂无作者
  • 出版社：暂无出版社
  • 出版时间：2009-08
  • 页数：暂无页数
  • 价格：19.70
  • 纸张：胶版纸
  • 装帧：平装
  • 开本：大32开
  • 语言：未知
  • 丛书：暂无丛书
  • TAG：暂无
  • 豆瓣评分：暂无豆瓣评分
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内容简介：

本书在温殿忠教授提出的JFET压／磁电效应基本理论基础上，给出MO***ETs压／磁多功能传感器在外加压力P≠O、外加磁场B=O；外加压力P≠O、外加磁场B=O；外加压力P≠O、外加磁场8≠O；外加压力P≠O、外加磁场B≠O四种情况下的基本理论分析。采用CMOS工艺和MEMS技术设计、制作以纳米硅／单晶硅异质结为源极(S)和漏极(D)的MO***ETs压／磁多功能传感器。本书设计、制作的纳米硅／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器能够完成压力和磁场的检测，具有良好的压敏特性和磁敏特性，可实现压／磁检测的集成化和一体化，对传感器的小型化、多功能化、集成化和一体化发展具有重要意义。

书籍目录：

第1章 绪论

1.1 引言

1.2 多功能传感器研究现状

1.3 MO***ET压力传感器研究现状

1.4 MO***ET磁传感器研究现状

1.5 纳米硅／单晶硅异质结研究现状

1.6 纳米硅／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器研究目的和意义

1.7 纳米硅／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器研究的主要内容

第2章 纳米硅薄膜制备及表征研究

2.1 纳米硅薄膜

2.2 PECVD制备多晶硅薄膜

2.3 LPCVD制备纳米硅薄膜

2.4 小结

第3章 MO***ETs压／磁多功能传感器理论分析

3.1 MO***ETs压／磁多功能传感器理论模型

3.2 MO***ETs压／磁多功能传感器理论分析

3.3 小结

第4章 纳米硅／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器压敏结构设计和电源激励方式

4.1 半导体材料压阻效应基本理论

4.2 纳米硅／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器压敏结构设计

4.3 纳米硅／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器压敏结构电源激励方式

4.4 小结

第5章 纳米石圭／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器磁敏结构设计和工作原理

5.1 霍尔效应

5.2 纳米硅／单晶硅异质结p—MO***ET Hall器件基本结构及工作原理

5.3 纳米硅／单晶硅异质结P—MO***ET Hall器件串联输出结构及工作原理

5.4 小结

第6章 纳米硅／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器基本结构与***

6.1 纳米硅／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器基本结构

6.2 纳米硅／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器***

6.3 小结

第7章 实验结果与讨论

7.1 纳米多晶硅薄膜压阻特性

7.2 纳米硅／单晶硅异质结p-MO***ET特性

7.3 纳米硅／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器压敏特性

7.4 纳米硅／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器磁敏特性

7.5 纳米硅／单晶硅异质结MO***ETs压／磁多功能传感器压／磁特性

7.6 小结

第8章 结论

参考文献

作者介绍：

赵晓锋，男，黑龙江省兰西县人，工学博士，黑龙江大学电子工程学院副教授，硕士研究生导师。参加国家自然科学基金项目1项，承担黑龙江省教育厅项目1项，承担并完成黑龙江省电子工程重点实验室项目、黑龙江大学青年科学基金项目、黑龙江大学教改项目各1项。在SCl、El等学

出版社信息：

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书籍摘录：

第1章 绪论

1.2 多功能传感器研究现状

随着传感器及微加工技术的发展，人们可以在同一衬底材料上制作几种敏感元器件，制成能够检测多个参量的集成化多功能传感器。多功能传感器主要有以下几种不同的工作原理及结构形式：几种不同的敏感元器件制作在同一个硅片上，制成集成化多功能传感器，该种传感器集成度高、体积小，各个敏感元器件的工作氛围相同，容易实现补偿和校正，这是多功能传感器发展的一个方向；几种不同的敏感元器件组合在一起形成一个传感器，可以同时测量几个参数，各敏感元器件是***的，如将测量温度和测量湿度敏感元件组合在一起，构成温湿度多功能传感器；用同一个敏感元器件的不同效应，得到不同的信息，如将线圈作为敏感元件，在具有不同磁导率或介电常数物质的作用下，表现出不同的电容和电感。同一个敏感元件在不同激励下表现出不同特性，例如传感器施加不同的激励电压、电流，在不同温度下，其特性不同，有时可相当于几个不同的传感器。有的多功能传感器检测出的几个信息混在一起，需要用***处理的方法将各种信息进行分离。

……

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